- laser à excimères KrF 248 nm SP 300i ATL couplé au centre de micro-usinage ProMaster OPTEC
Ces équipements sont situés dans les locaux de l’IREPA laser avec lequel nous partageons l’accès à d’autres sources (laser à CO2, laser Nd:YAG, laser à fibre)
logiciels commerciaux :
- Grating Solver
- BPM Cad et OptiBPM d’Optiwave, logiciels de CAO pour l’optique intégrée
logiciels développés par nos soins :
- logiciels pour le calcul des éléments optiques diffractifs dans le cadre de l’approximation scalaire de l’électromagnétisme (algorithmes itératifs de type Gerchberg Saxton)
- calcul d’éléments optiques diffractifs
- développement de codes de calcul scientifiques